はじめに
今回は、「半導体製造装置部品」に関連した国内主要メーカーをまとめてみました。その他の半導体関連の企業は以下のブログにまとめていますので、ぜひご覧ください！
まだ未完成です！！！
また、各製造装置の構成や使用される部品については以下の書籍を参考にしました。
前提知識
半導体製造装置とは？
どんな部品で構成されてるの？
企業一覧
マスフローコントローラー
5486：日立金属（プロテリアル）
6845：アズビル
6856：堀場製作所（堀場エステック）
フジキン
コフロック
リンテック
東京計装
日本スターテクノ
日立Astemo＆ナガノ
チャック
真空チャック
5334：日本特殊陶業
5352：黒崎播磨
6971：京セラ
6998：日本タングステン
静電チャック
6596：筑波精工
6967：新光電気工業
5332：TOTO
5333：日本碍子
5334：日本特殊陶業
6971：京セラ
3878：巴川製紙所
5232：住友大阪セメント
5352：黒崎播磨
クリエイティブテクノロジー
真空系
真空ポンプ
6302：住友重機械工業
6361：荏原製作所
6384：昭和真空
6590：芝浦メカトロニクス
6728：アルバック
7701：島津製作所
8012：長瀬産業（ナガセテクノエンジニアリング）
大阪真空
大亜真空
樫山工業
神港精機
千代田交易
入江
キヤノンアネルバ
真空配管・継手・フランジ
真空バルブ
6728：アルバック
神港精機
大阪真空
キヤノンアネルバ
大亜真空
ゲートバルブ
6728：アルバック
8012：長瀬産業（ナガセテクノエンジニアリング）
ブイテック
入江工研
フジ・テクノロジー
美幸輝
真空シール・Oリング
5711：三菱マテリアル（三菱マテリアルトレーディング）
6486：イーグル工業
6728：アルバック
6890：フェローテック
7240：ＮＯＫ
7995：バルカー
リガク
三菱電線工業
協同インターナショナ
日本シール精工
電源装置
6622：ダイヘン
6508：明電舎
6513：オリジン
6668：アドテックプラズマテクノロジー
6728：アルバック
6742：京三製作所
6762：TDK（TDKラムダ）
7721：東京計器
P.R.A.（Plasma Related Alliance）
松定プレシジョン
クリエイティブテクノロジー
日立国際電気
パール工業
魁半導体
ノダRFテクノロジーズ
Genon RFソリューションズ
玉置電子工業
日本高周波
クリエート・デザイン
加熱装置
セラミックヒーター
5333：日本碍子
6971：京セラ
ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ
光源・光学部品
高圧UVランプ
エキシマレーザー
ギガフォトン
オプトピア
機械制御部品
ステージ
5352：黒崎播磨
6302：住友重機械工業
6507：シンフォニアテクノロジー
駿河精機
日本レーザー
モーショントラスト
神津精機
中央精機
スライド・位置決め要素部品
5332：TOTO
5486：日立金属
6324：ハーモニック・ドライブ・システムズ
6464：ツバキ・ナカシマ
6480：日本トムソン
6481：ＴＨＫ
6594：日本電産
7713：シグマ光機
中央精機
サーボモーター
6506：安川電機
6503：三菱電機
6752：パナソニック（パナソニック インダストリー）
6645：オムロン
6508：明電舎
三洋電機
日立産機システム
除震装置
5121：藤倉コンポジット
7713：シグマ光機
特許機器
倉敷化工
明立精機
ヘルツ
東京インスツルメンツ
牧方技研
日立ハイテク
昭和サイエンス
各種センサー
真空計
6590：芝浦メカトロニクス
6728：アルバック
6856：堀場製作所（堀場エステック）
神港精機
入江
大亜真空
プラズマプロセスモニタ（分光器）
6856：堀場製作所
6965：浜松ホトニクス
魁半導体
オーシャンフォトニクス
ガス分析計（プロセスガスモニタ）
6728：アルバック
6856：堀場製作所（堀場エステック）
キヤノンアネルバ
圧力センサー
7715：長野計器
チラー
6273：SMC
6361：荏原製作所
伸和コントロールズ
ミラプロ
搬送ロボット
ウェーハ搬送ロボット
6323：ローツェ
6506：安川電機
6594：日本電産
6622：ダイヘン
6266：タツモ
6728：アルバック
7012：川崎重工業
ジェーイーエル
アイテック
ハーモテック
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