はじめに
今回は、半導体製造工場を縦横無尽に動き回る搬送装置に関連した国内主要メーカーをまとめてみました。その他の半導体関連の企業は以下のブログにまとめていますので、ぜひご覧ください！
搬送装置とは
半導体製造における搬送装置とは、各製造装置間のウェーハの搬送を担う装置のことです。半導体を製造するクリーンルームでは無塵化が絶対条件で、粉塵の最大発生源である人の動きを最小限にするためには搬送と保管の自動化が不可欠となります。加えて、搬送工程の自動化によって、省力化・省人化が期待できます。
用語解説
AGV(Automatic Guided Vehicle)
無軌道床上自動搬送車。ロボットアーム付き床走行車で、オペレータのアシスト無しに動作する。半導体デバイス工場内で、ウェハをキャリアに入れてプロセスフローの順番通りに半導体製造装置から半導体製造装置へウェハの搬送を行っている。
OHS(Overhead Shuttle)
天井シャトル式搬送装置。レールでガイドされる走行車、シャトル形式で頭上に設置される。
OHT(Overhead Hoist Transport)
天井吊下式搬送装置。レールでガイドされる走行車、ホイスト形式で頭上に設置される。
OHV(Overhead Hoist Vehicle)
天井吊下式自動搬送車。工場フロアの上方で工場従業員の頭上で材料搬送する走行車。
AMHS(Automated Material Handling Systems)
自動ウェハ搬送システム。半導体生産ラインにおいて、AMHS装置間または製造装置のロードポートとの間でウェハ (材料) を自動搬送するシステム。
FOUP(Front-Opening Unified Pod)
半導体工場において、ウェーハまたはガラスキャリアを別工程へ搬送・保管するための密閉型容器のこと。容器の前面に開閉機構を持ち、半導体製造装置とのインターフェース機能を持つ。
ロードポート
半導体製造装置のフロント部に設置され、AMHS/PGV/オペレータから供給されたFOUPを受け取る機構のこと。主な機能としては、FOUP のクランプ、ドッキングとアンドッキング、FOUP ドアの開／閉などがある。このため「FOUP オープナー」と呼ばれる場合もある。
主要企業
搬送装置の主要企業は「ダイフク」「村田機械」の2社と言えるでしょう。また、搬送装置関連の設備として、ウェーハ搬送ロボット・FOUP関連のメーカーもまとめています。
搬送装置・システム
6383：ダイフク
村田機械
第一施設
6507：シンフォニアテクノロジー
ウェーハ搬送ロボット
6323：ローツェ
6506：安川電機
6594：日本電産
6622：ダイヘン
6266：タツモ
6728：アルバック
7012：川崎重工業
ジェーイーエル
FOUP
7970：信越ポリマー
4238：ミライアル
大日商事
ミライアル
FOUPロードポート
6762：TDK
6258：平田機工
6323：ローツェ
6507：シンフォニアテクノロジー
キャリア保管ストッカー（FOUPバッファ）
村田機械
6323：ローツェ
6507：シンフォニアテクノロジー
FOUP/キャリア洗浄機
その他関連企業
サイレックス：搬送装置向けワイヤレスブリッジボード
6845：アズビル：各種センサー：監視システム
6841：横河電機：生産管理システムソフト
コメント